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        周日的早晨,天音芯片廠車間里,段云以及吳剛帶領的7名技術人員,還有那兩名荷蘭工程師,早早就等待了無塵車間的C區,準備對新生產線進行最后的測試。

        吳剛等7名技術人員全部簽訂了保密協議,他們也是整個芯片廠幾十名技術人員中,少數有資格進入C區的工作人員。

        因為這4臺阿斯麥光刻機還屬于禁運產品,為了不給阿斯麥公司造成麻煩,段云對新生產線的消息進行了嚴格封鎖,并且將機器上的logo和標識全部刮除,重新刷上了一層防銹漆,整個機器找不到關于廠家的任何標志。

        另外C區連接目前東芝生產線的A區只有一個產品通行傳輸帶,從東芝生產線生產出來的晶圓片會通過傳輸帶運到C區,經過光刻處理之后,再重新傳送到A區,新車間非常的隱蔽,人員過道還加裝了磁卡門禁,這道門禁支持錄入20張磁卡,沒有磁卡的人是無法進入C區的。

        “可以開始了嗎?”一切準備就緒之后,段云對兩名荷蘭工程師問道。

        “可以了?!蔽纳貞艘宦暎缓笞诳刂婆_上,輸入一串密碼后,啟動了光刻機。

        相比于日本的東芝光刻機,阿斯麥的光刻機外觀看起來更加的緊湊,主要分為三個部分,曝光臺,測量臺,以及擁有兩個顯示器的操作臺。

        隨著操作臺主顯示器上一串代碼閃過之后,曝光臺開始發出了輕微的嗡鳴聲,緊接著圓晶片開始進入光刻階段。

        這一刻在場的所有的人都屏住了呼吸,空氣仿佛都凝固了一般。

        因為沒有一微米制成芯片技術的掩膜,所以段云采用的還是東芝公司三微米制程技術的fsh閃存芯片掩膜,同時還有學習機上專用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。

        很快,10片圓晶片只用了不到5分鐘就完成了光刻程序,經過傳輸帶,傳回了A區的生產車間,在那里,這10片圓晶片還有經過蝕刻等一系列工序處理,最后進行成品率檢驗。

        完成10片Fsh芯片圓晶片光刻處理之后,兩名阿斯麥的工程師又重新更換了掩膜,準備再加工20片6052仿制品的芯片。

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