盡管得到了黃令儀承諾的可以在年內(nèi)完成NADA芯片的承諾,然而對(duì)段云來說,如果想長(zhǎng)期在國(guó)際芯片產(chǎn)業(yè)占據(jù)一席之地,它還有很多的問題需要解決。
而其中之一,就是要保證擁有制造芯片所需的最先進(jìn)的光刻機(jī)。
說起光刻機(jī),后世人們第一個(gè)想到的就是荷蘭的阿斯麥公司。
其實(shí)在七八十年代的時(shí)候,咱們國(guó)家就已經(jīng)有了國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)。
國(guó)產(chǎn)第1臺(tái)光刻機(jī)GK-3型半自動(dòng)接近式光刻機(jī)誕生于1977年,而那個(gè)時(shí)候荷蘭的阿斯麥連成立都沒有成立。
光刻機(jī)是大系統(tǒng)高精尖技術(shù)和工程極限高度融合的結(jié)晶,被譽(yù)為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈“皇冠上的明珠”。
日本的尼康和佳能于20世紀(jì)60年代末開始進(jìn)入光刻機(jī)領(lǐng)域,中國(guó)利用光刻技術(shù)制造集成電路,大致也是始于同一時(shí)期。
但是中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)可以用一句話來形容,那就是:起了個(gè)大早,趕了個(gè)晚集。
1965年,我國(guó)第1塊集成電路在北京,石家莊和上海等地相繼問世,1974年9月第1次全國(guó)大規(guī)模集成電路工業(yè)會(huì)議召開,國(guó)家紀(jì)委在北京召開的“全國(guó)大規(guī)模集成電路及基礎(chǔ)材料攻關(guān)大會(huì)戰(zhàn)會(huì)議”上,擬定的目標(biāo)是在1974年到1976年,突破大規(guī)模集成電路的工藝裝備基礎(chǔ)材料等方面的關(guān)鍵技術(shù),司機(jī)部組織京滬電子工業(yè)會(huì)戰(zhàn)進(jìn)行大規(guī)模集成電路及材料裝備研發(fā),突破超威力鋼板,光刻膠超純凈試劑,高純度氣體磁場(chǎng),偏轉(zhuǎn)電子束鍍膜機(jī)等材料裝備。
1975年12月第2次全國(guó)大規(guī)模集成電路會(huì)議在上海召開,1977年1月第3次全國(guó)大規(guī)模集成電路會(huì)議在貴州召開,這三次會(huì)議可以說直接導(dǎo)致了上世紀(jì)80年代前后,中科院系統(tǒng)電子部系統(tǒng)地方各研發(fā)單位光刻機(jī)成果的第1次大爆發(fā)。
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